Dynax 65AX-089 320mm晶圆传输机器人组件

Description

产品类型:晶圆传输机器人组件

适用晶圆直径:320毫米

机器人类型:传输机器人

工作范围:320毫米

定位精度:±0.02毫米

重复定位精度:±0.01毫米

最大负载能力:5公斤

驱动方式:伺服电机驱动

控制系统:PLC控制器

防护等级:IP65

重量:约20公斤

尺寸:长x宽x高（毫米）：500x300x400

    Dynax 65AX-089 320mm半导体晶圆传输机器人组件采用先进的伺服电机驱动系统，确保了高速度和高精度的晶圆传输。

    其PLC控制系统提供了稳定可靠的运行保障，能够在严苛的工业环境中持续作业。

    该组件由高强度铝合金制成，具有优异的耐腐蚀性和机械强度。

    设计上采用了模块化理念，便于安装和维护。

    此外，其IP65防护等级使得该机器人组件能够在多种环境下可靠工作，无论是干燥还是潮湿的车间环境。

    通过精确的定位系统和智能的控制系统，该组件能够有效提高晶圆生产线的效率和可靠性，是半导体制造行业的理想选择。